คุณสมบัติ
● อุณหภูมิสูงสุด RT-1200 องศา
● เตาแบบแยกส่วน สามารถเปิดเตาได้
● สามารถใส่ช่องแก๊สได้มากกว่า 2 ช่อง ด้วยระดับสุญญากาศ 10Pa โดยใช้ปั๊มกลไกและแหล่งจ่ายไฟ RF 500W เพื่อขยายสัญญาณ
● วัสดุฉนวนใยเซรามิกอะลูมินาประสิทธิภาพสูงคุณภาพสูง
● ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ ±1 องศา
● มีฟังก์ชั่นแจ้งเตือนอุณหภูมิเกิน
● พัดลมระบายความร้อนช่วยลดอุณหภูมิของตัวเครื่องได้
|
แบบอย่าง |
สก2-ซีวีดี-12ทีพีบี4 |
|
ขนาด : มาตรฐาน ความยาวโซนทำความร้อน (มม.) |
440มม. |
|
ขนาด : เส้นผ่านศูนย์กลางท่อมาตรฐาน (มม.) |
∮60มม. |
|
อุณหภูมิสูงสุด |
1,200 องศา อุณหภูมิทำงานต่อเนื่อง 1,100 องศา |
|
แรงดันไฟฟ้า(V) |
220 1P |
|
ประเภทเทอร์โมคัปเปิล |
K |
|
ตัวทำความร้อน |
ลวดต้านทานโลหะผสม HRE |
|
อุณหภูมิความแม่นยำ |
±1 องศา |
|
อัตราความร้อน |
ปรับอิสระ 0-30 องศา/นาที |
|
วัสดุห้อง |
ใช้เส้นใยไมโครคริสตัลลีนอะลูมินาคุณภาพสูงขั้นสูง |
|
โครงสร้างเตาเผา |
โครงสร้างระบายความร้อนด้วยอากาศสองชั้น อุณหภูมิพื้นผิวต่ำกว่า 60 องศา |
|
ตัวควบคุมอุณหภูมิ |
เครื่องมือควบคุมอุณหภูมิอัจฉริยะ PID, โปรแกรม 30 ส่วน, การควบคุม SSR, ฟังก์ชั่นปรับจูนพารามิเตอร์ PID, การเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิโปรแกรม, การเก็บรักษาความร้อนโปรแกรม, การระบายความร้อนโปรแกรม |
|
แหล่งจ่ายไฟ RF 500W |
กำลังขับ: 5-500W ±1 องศา ความถี่ RF: 13.56MHz ±0.005% กำลังสะท้อน: สูงสุด 100W แมตช์ : อัตโนมัติ อินเทอร์เฟซ RF: 50Ω, ชนิด N ระบบระบายความร้อน : ระบายความร้อนด้วยอากาศ แหล่งจ่ายไฟ: AC 208-240V, 50/60HZ |
|
ระบบการไหลแม่นยำ 4 ช่องแก๊ส |
1. อัตราการไหลแบบเต็มสเกล (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500)มล./นาที 10ล./นาที 2. ชนิดวาล์ว: โซลินด์วาล์ว 3. ตำแหน่งพักวาล์ว: ปกติปิด 4. ความดันต่าง: (50-300)kpa 5. ความต้านทานแรงดัน: 3mpa. 6. อุณหภูมิการทำงาน: 5-45 องศา 7.วัสดุ:สแตนเลส 316L. |
|
ระบบสูญญากาศ |
5*10-3ปา KF25 ข้อต่อด่วน, หีบเพลงสแตนเลส, วาล์วและหน้าแปลนแบบใช้มือ, ปั๊มสุญญากาศ นอกจากนี้ยังสามารถติดตั้งระบบสูญญากาศที่สูงขึ้นเป็นทางเลือกได้
|
|
ยินดีต้อนรับ OEM/ODM |
|
อุปกรณ์มาตรฐาน
ถุงมือกันความร้อน|ตะขอเบ้าหลอม|เทอร์โมคัปเปิล|บล็อกท่อ|คู่มือผู้ใช้|เครื่องมือ|ปั๊มสุญญากาศ|ท่อควอตซ์|หน้าแปลน|แหวนปิดผนึก|ท่อแก๊ส 10 มม.|ตัวรองรับหน้าแปลน, ระบบแก๊ส, พลังงาน RF
ไม่จำเป็น
โซนความร้อนที่แตกต่างกันให้คุณเลือก
ควบคุมหน้าจอสัมผัส LCD ให้เลือก
พอร์ต RS485/USB เพื่อเชื่อมต่อคอมพิวเตอร์ให้เลือก
ภาพรายละเอียดของ CVD-PECVD



แอปพลิเคชัน
อุปกรณ์นี้ใช้หลักๆ เพื่อการปลูกเส้นลวดนาโนหรือเตรียมการปลูกฟิล์มบางต่างๆ โดยใช้กรรมวิธี CVD
การรับประกัน
รับประกันหนึ่งปีและการสนับสนุนทางเทคนิคตลอดอายุการใช้งาน
เคล็ดลับพิเศษ:
1. วัสดุสิ้นเปลือง เช่น ส่วนประกอบความร้อน หลอดควอตซ์ เบ้าหลอมตัวอย่าง ฯลฯ ไม่อยู่ในระยะเวลารับประกัน
2. ความเสียหายที่เกิดจากการใช้ก๊าซกัดกร่อนและก๊าซกรดจะไม่ได้รับการคุ้มครองภายใต้การรับประกัน
ป้ายกำกับยอดนิยม: ระบบ pecvd สามโซนทำความร้อน 1200c ผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ระบบ pecvd สามโซนทำความร้อน 1200c ของจีน





