ระบบ PECVD 3 โซนความร้อน 1200C
ระบบ PECVD 3 โซนความร้อน 1200C

ระบบ PECVD 3 โซนความร้อน 1200C

SK2-CVD-12TPB4 เป็นเตาเผาแบบท่อสำหรับระบบ PECVD ประกอบด้วยแหล่งจ่ายไฟ RF 300W หรือ 500W ระบบการไหลแม่นยำแบบหลายช่อง ระบบสูญญากาศ และเตาเผาแบบท่อ อุณหภูมิที่ใช้โดยทั่วไปคือ 1,100 องศาเซลเซียสหรือต่ำกว่า และคุณสมบัติหลักคือ อุณหภูมิการสะสมต่ำ อัตราการสะสมเร็ว คุณภาพของฟิล์มดี มีรูพรุนน้อย และมีโอกาสแตกร้าวน้อย เป็นอุปกรณ์ที่เหมาะสำหรับการปลูกนาโนไวร์หรือเตรียมฟิล์มบางต่างๆ โดยใช้กรรมวิธี CVD
ส่งคำถาม
คุณสมบัติ

 

● อุณหภูมิสูงสุด RT-1200 องศา

● เตาแบบแยกส่วน สามารถเปิดเตาได้

● สามารถใส่ช่องแก๊สได้มากกว่า 2 ช่อง ด้วยระดับสุญญากาศ 10Pa โดยใช้ปั๊มกลไกและแหล่งจ่ายไฟ RF 500W เพื่อขยายสัญญาณ

● วัสดุฉนวนใยเซรามิกอะลูมินาประสิทธิภาพสูงคุณภาพสูง

● ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ ±1 องศา

● มีฟังก์ชั่นแจ้งเตือนอุณหภูมิเกิน

● พัดลมระบายความร้อนช่วยลดอุณหภูมิของตัวเครื่องได้

 

แบบอย่าง

สก2-ซีวีดี-12ทีพีบี4

ขนาด : มาตรฐาน ความยาวโซนทำความร้อน (มม.)

440มม.

ขนาด : เส้นผ่านศูนย์กลางท่อมาตรฐาน (มม.)

∮60มม.

อุณหภูมิสูงสุด

1,200 องศา อุณหภูมิทำงานต่อเนื่อง 1,100 องศา

แรงดันไฟฟ้า(V)

220 1P

ประเภทเทอร์โมคัปเปิล

K

ตัวทำความร้อน

ลวดต้านทานโลหะผสม HRE

อุณหภูมิความแม่นยำ

±1 องศา

อัตราความร้อน

ปรับอิสระ 0-30 องศา/นาที

วัสดุห้อง

ใช้เส้นใยไมโครคริสตัลลีนอะลูมินาคุณภาพสูงขั้นสูง

โครงสร้างเตาเผา

โครงสร้างระบายความร้อนด้วยอากาศสองชั้น อุณหภูมิพื้นผิวต่ำกว่า 60 องศา

ตัวควบคุมอุณหภูมิ

เครื่องมือควบคุมอุณหภูมิอัจฉริยะ PID, โปรแกรม 30 ส่วน, การควบคุม SSR, ฟังก์ชั่นปรับจูนพารามิเตอร์ PID, การเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิโปรแกรม, การเก็บรักษาความร้อนโปรแกรม, การระบายความร้อนโปรแกรม

แหล่งจ่ายไฟ RF 500W

กำลังขับ: 5-500W ±1 องศา

ความถี่ RF: 13.56MHz ±0.005%

กำลังสะท้อน: สูงสุด 100W

แมตช์ : อัตโนมัติ

อินเทอร์เฟซ RF: 50Ω, ชนิด N

ระบบระบายความร้อน : ระบายความร้อนด้วยอากาศ

แหล่งจ่ายไฟ: AC 208-240V, 50/60HZ

ระบบการไหลแม่นยำ 4 ช่องแก๊ส

1. อัตราการไหลแบบเต็มสเกล (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500)มล./นาที 10ล./นาที

2. ชนิดวาล์ว: โซลินด์วาล์ว

3. ตำแหน่งพักวาล์ว: ปกติปิด

4. ความดันต่าง: (50-300)kpa

5. ความต้านทานแรงดัน: 3mpa.

6. อุณหภูมิการทำงาน: 5-45 องศา

7.วัสดุ:สแตนเลส 316L.

ระบบสูญญากาศ

5*10-3ปา

KF25 ข้อต่อด่วน, หีบเพลงสแตนเลส, วาล์วและหน้าแปลนแบบใช้มือ, ปั๊มสุญญากาศ

นอกจากนี้ยังสามารถติดตั้งระบบสูญญากาศที่สูงขึ้นเป็นทางเลือกได้

image001

ยินดีต้อนรับ OEM/ODM

 

อุปกรณ์มาตรฐาน

 

ถุงมือกันความร้อน|ตะขอเบ้าหลอม|เทอร์โมคัปเปิล|บล็อกท่อ|คู่มือผู้ใช้|เครื่องมือ|ปั๊มสุญญากาศ|ท่อควอตซ์|หน้าแปลน|แหวนปิดผนึก|ท่อแก๊ส 10 มม.|ตัวรองรับหน้าแปลน, ระบบแก๊ส, พลังงาน RF

 

ไม่จำเป็น

 

โซนความร้อนที่แตกต่างกันให้คุณเลือก

ควบคุมหน้าจอสัมผัส LCD ให้เลือก

พอร์ต RS485/USB เพื่อเชื่อมต่อคอมพิวเตอร์ให้เลือก

 

ภาพรายละเอียดของ CVD-PECVD

 

image003
แหล่งจ่ายไฟ RF 500W
image005
ระบบสูญญากาศ
image007
ระบบการไหลแม่นยำ 4 ช่องแก๊ส

 

แอปพลิเคชัน

 

อุปกรณ์นี้ใช้หลักๆ เพื่อการปลูกเส้นลวดนาโนหรือเตรียมการปลูกฟิล์มบางต่างๆ โดยใช้กรรมวิธี CVD

 

การรับประกัน

 

รับประกันหนึ่งปีและการสนับสนุนทางเทคนิคตลอดอายุการใช้งาน

เคล็ดลับพิเศษ:

1. วัสดุสิ้นเปลือง เช่น ส่วนประกอบความร้อน หลอดควอตซ์ เบ้าหลอมตัวอย่าง ฯลฯ ไม่อยู่ในระยะเวลารับประกัน

2. ความเสียหายที่เกิดจากการใช้ก๊าซกัดกร่อนและก๊าซกรดจะไม่ได้รับการคุ้มครองภายใต้การรับประกัน

 

ป้ายกำกับยอดนิยม: ระบบ pecvd สามโซนทำความร้อน 1200c ผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ระบบ pecvd สามโซนทำความร้อน 1200c ของจีน